气浮测量装置是 微纳加工技术与装备重点实验室自主研发的高精度气浮测量装置，用于精密光学器件和玻璃元件等精密元件的检测，在超精密加工工艺中，对超精密器件的检测是 超精密加工的重要组成部分。气浮测量装置总装配效果。被测工件放置在大理石平台上，因大理石平台的平面度和光洁度达不到要求，造成检测结果与实际结果偏差较大。大理石平台为使测量精度尽可能高，在装配的过程中，对各个部件间的配合精度要求会更高，市场上外购的通过企业加工的大理石平台的平面度和光洁度往往达不到设计时所需的要求，进而需要进一步手工精细研磨。
环境对大理石研磨的影响主要指温度和振动对其影响。在超精密加工和测量的过程中，对温度和振动的要求极高。经过试验分析，采用同一测量方法对大理石平尺(直线度2.5μm）在精密恒温恒湿的实验室中，在空调开启前后的4h后分别进行测量，直线度相差3μm。
振动如人的走动等都会对精密加工和检测造成严重影响，本次研磨实验中保证实验室恒温恒湿且大理石平台周边都经过地基处理来防止振动造成影响。
大理石平台研磨所需的材料
1、研磨平台
研磨平台是 一种能够保证被研磨件的精度和表面光洁度，同时压嵌在研磨剂上的平板研磨设备，实验室采购的研磨平台操作简单、上砂快、嵌砂量足，打磨后，被研磨件光洁度显著提高，被研磨件易得到所需的光洁度和平面度。2、磨料碳化硼
研磨剂由磨料和研磨液调和而成。研磨液主要起到冷却和润滑的作用，常用煤油、汽油、甘油等。磨料碳化硼熔点为2350℃，硬度低于金刚石，高于刚玉和碳化硅，常用作精密大理石平台的研磨。
3、研磨和测量过程
(1)将待研磨的花岗岩大理石平面用乙醇清洗棉纱布擦干，使大理石平面光洁。
(2)大理石平面的尺寸1200mmX800mm，瑞士电子水平仪的固定长度为150mm,故在大理石平台上以150mm为步长，用记号笔和钢尺(其它也可，便于划线)配合在大理石平面进行长度和宽度方向上进行网格划分，网格划分目的是 每次测量时准确放置水平仪的位置，特别注意记号笔不可用力刻画大理石平面，以免人为伤到大理石平台，使平面度精度降低，研磨更加困难。
(3)用电子水平仪按网格分别在长度和宽度方向上进行测量，一般先放置长度方向，完毕后软件会提示放置宽度方向。在放置电子水平仪时找准网格参照，尽量使每次放置的位置相同，因为多次放置和测量可以减少人为的测量误差。
(4)在大理石的大平面上需要研磨的部分进行适当研磨，磨料碳化硼和研磨液甘油按适合比例混合形成研磨剂，研磨剂先均匀涂在大理石平台上需要研磨的部分，然后用研磨平板进行研磨。在研磨的过程中分为粗研磨和精研磨过程，粗研磨过程中，因研磨量大，可以适当用力；在精研磨过程中，就要用力均匀保证研磨精度。同时局部研磨过程中使研磨平板的运动轨迹一直为8字型，这样研磨同一性和尺寸一致性都好，不容易出现塌边现象。
(5)重复上面步骤1一步骤4，直至达到所需要的精度。
通过研磨前后各项误差对比发现，研磨平台的多次研磨后，大理石平台的平面度会取的较好的效果，要达到所需的微米级还有一定的难度，但实验证明大理石平台的的平面度和光洁度确有一定的提高。
为达到测量装置的装配配合精度要求和满足测量精度，该大理石平台需要手工精磨，通过磨料碳化硼、研磨平台、电子水平仪和与水平仪配合的软件Wyler进行反复测量和研磨使平面度和光洁度的精度大大提高，较大化达到所需要的平面度精度要求。但在多次研磨和测量过程中大理石平台的面积为1200mmX800mm研磨面积较大，易测量出平面度各项误差，但多次手工研磨起来误差难以精确保证。此次研磨实验，平面度和光洁度有所提高，拘于实验室现有条件和研磨人员的技术能力，手工研磨达到微米级要求仍有一定差距，但为大理石平台的研磨提供一种方法借鉴。
精密大理石工作台硬度比铸铁高2－3倍(相当於hrc＞51)，精密大理石工作台特别适用于高精度的测量方面。
大理石工作台具有：精度高、不生锈、耐酸碱、不磁化、不变型、耐磨性好等优点。大理石工作台能在重负荷及一般温度下保持稳定。
花岗石平台是 用天然的石质材料制成的精密基准测量工具，对仪器仪表、精密工具、机械制件的检验，都是 理想的基准面，精密大理石工作台特别适用于高精度的测量方面。大理石平板取材于地下优质的岩石层，经过亿万年自然时效，形态极为稳定,不用担心因常规的温差而发生变形。由于大理石系非 金属材料，绝无磁性反应，亦无塑性变形。
经严格物理试验和选择的花岗石料,结晶细密,质地坚硬，抗压强度达2290-3750公斤／平方厘米，硬度达莫氏硬度6-7级。大理石工作台硬度比铸铁高2－3倍(相当於hrc＞51)，因此精度保持性好。在使用中岩石工具即使遭重物磕碰，至多掉几粒石碴而已，而不会像金属工具那样，因变形而破坏精度。大理石工作台优于优质铸铁和钢材制作的精密测量基准零件，可以获得高而稳定的精度。
大理石平台使用标准：1、使用前对平台进行清理，防止测试时工件划伤。2、此平台仅用于弯曲度检测，不得作为普通平台进行其他作业，以防损伤平台表面。3、大理石平板经过定位后不得再进行移动，如确需移动，需重新定位找平。4、测试时需将工件平放至检验大理石平台上，平视工件与大理石平台接触面，找较大缝隙处，使用塞尺进行测量。
大理石平板的支架起着一种辅助作用，同时也是 一种保护，可以更好的让大理石工作台发挥它的优点。做为大理石平台的辅助工具，大理石平台的支架的地位是 相当大的，它可以保证大理石平板的平稳度。大理石平台支架具有不变形硬度高耐磨性强，抗磨蚀耐高温，而且物理性稳定组织缜密受撞击晶粒脱落表面不起毛边不影响其平面精度。
泊头市精固诚量具机械有限公司（原泊头市精固诚量具机械厂）(http://www.8225588.com)是 铸造、机械加工、大型机床配套的专业公司。公司主要经营产品有：花岗石平板、大理石平台、检验平台、划线平板。自90年开始我厂在非 标产品和平板量具的生产制造过程中和全国很多大型企业进行业务合作。
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